本章主要講述國產(chǎn)光刻機的曾經(jīng)光輝歷程，以示以往的艱辛和國人智慧。恐有不信者，占用一個章節(jié)以述。不喜者可直接略過）

“國泰兄弟你居然也知道光刻機？這個行業(yè)非常冷門。別說一般人，甚至就連很多官員領(lǐng)導(dǎo)都不知道?！?/p>

鄭通元被陳國泰的激烈反應(yīng)嚇了一跳，隨即滿臉驚奇地說道。

“我當(dāng)然知道。鄭大哥，我的專業(yè)是機械制造，所以我一直都在關(guān)注機械制造的發(fā)展前沿狀況......從1959年漂亮國人研究出世界上第一臺五軸聯(lián)動加工機器開始到現(xiàn)在，機械制造往智能控制發(fā)展的苗頭趨勢已經(jīng)越來越明顯。你說我能不關(guān)注與工控芯片直接相關(guān)的光刻機嗎？”

陳國泰腦瓜子一轉(zhuǎn)，立即解釋道。

“這個倒也是哈。我國從52年研究成功第一臺數(shù)控機床開始，對工控芯片的需求就越來越旺盛，要求的芯片性能也在不斷提升......國防工業(yè)對芯片的需求也與日俱增供不應(yīng)求......”

鄭通元釋然地點了點頭，很自然地講述了起來。

陳國泰立即凝神聽取，不愿錯過任何一個字。

這些知識都是他知識儲備庫里沒有的。

“......1971年之前，因為西方世界對我們的嚴(yán)密封鎖，我們所有的工控芯片都是靠著一大群技藝精湛的八級鉗工用手工進行制作。這種制作方式雖然讓我們的芯片制程基本達到當(dāng)時10微米（一毫米等于一千微米。一微米等于一千納米）級別的世界主流水平，但是也有著非常巨大的缺陷......”

鄭通元滿臉感慨地提到了一個關(guān)鍵時間點：1971年。

聽講的陳國泰更加打起了精神。

“......這個缺陷就是產(chǎn)量極低且良品率極其低下。耗費了巨量人力物力制作出來的極少量合格芯片，只能用在最為急需的導(dǎo)彈、衛(wèi)星、火箭以及極少數(shù)最為重要的加工設(shè)備上面......70年前后，國家為了妥善解決這個問題，終于下定決心集中人力和物力，研究我們自己的光刻機。說起這事，就不得不提到徐瑞林（此為化名。但的確有這么一個英雄人物）徐總工。當(dāng)時上面緊急調(diào)回已經(jīng)下放下去‘學(xué)種水稻’的徐總工，讓他在清大里面緊急組建攻關(guān)團隊......”

提起徐總工這個人，鄭通元臉上不由自主地露出了深深敬仰之色。

“徐瑞林？清大？鄭大哥，你要說的，是不是咱們清大那個精密儀器系于1971年在徐瑞林徐總工的帶領(lǐng)下研制成功了我國第一臺光刻機？”

陳國泰神色一動，忍不住插嘴說道。

“沒錯，的確是這樣。當(dāng)時徐總工是臨危受命......沒有任何圖紙和設(shè)備，就連概念都是模糊不清，一切都是從頭開始，就連每一個螺絲都要從頭設(shè)計制造......又沒有任何加班費和獎金......但就算是這樣，徐總工帶領(lǐng)的團隊硬是從無到有，只用了一年多時間，就把光刻機最主要的氣體激光器，以及工件臺的精密導(dǎo)軌、絲杠、滾珠、步進電機、數(shù)控計算機，和其它光學(xué)系統(tǒng)、大孔徑投影物鏡等等組件全部研制出來并組裝成功......我個人覺得，他們團隊的行為比起從頭開始搞‘和平工程’的那批偉大科學(xué)家都不遜色！”

鄭通元講述到這里，禁不住取下眼鏡擦了擦眼角。

“沒錯啊。他們都是國之脊梁！應(yīng)該永遠被我們的國人和所有后代銘記！”

陳國泰對鄭通元提到的人也是肅然起敬，深深嘆服。

“......就這樣，徐總工團隊經(jīng)過一年多時間的舍命付出，終于在1971年成功研制出我國第一臺光刻機和分布重復(fù)照相機，并迅速投入規(guī)模生產(chǎn)，供應(yīng)全國半導(dǎo)體行業(yè)使用，為民生工業(yè)和軍事工業(yè)持續(xù)提供‘心臟’動力......就在去年，那位執(zhí)政之后非常重視科技，此項成果終于榮獲全國科技大會獎。徐總工團隊也終于獲得了應(yīng)有的榮譽......這臺光刻機也被稱為我國第一代光刻機。它讓我國的工控芯片跟上了10微米制程的世界主流水平......”

鄭通元徐徐吐出一口氣，總結(jié)說道。

“鄭大哥，既然那臺光刻機被稱為第一代，其實也就意味著有第二代對吧？這方面你能稍微說說嗎？”

聽得心馳神往的陳國泰深吸了一口氣，順勢說道。

“這個......具體的研發(fā)過程肯定不能說。不過表面上的大體情況還是可以透露一些......徐總工取得成功之后，并沒有就此止步不前。從75年開始，他帶領(lǐng)團隊采用直接在半導(dǎo)體晶片上光刻集成電路的方法，投入了對‘自動對準(zhǔn)分步投影光刻機’的研究。這項研究被稱為第二代光刻機。預(yù)計成功之后會讓我國的芯片制程突破微米級，正式扣響納米級的大門。因為它加工的最細線寬能達到零點八微米，也就是800納米......”

鄭通元繼續(xù)敘述，卻在具體進展上停了下來。

陳國泰很是理解地點了點頭，知趣地沒有追問。

不過結(jié)合他前世所能記憶的模糊信息，他已經(jīng)把本國光刻機的前期發(fā)展過程基本理順。

鄭通元提到的這臺‘第二代光刻機’大約會在明年研究成功，并且在以后相當(dāng)長時間里都一直保持在世界一線行列。

隨后一些年又完成了一些改進，制程基本突破微米級，被稱為第三代，一直屬于世界一流水平。

但就在九十年代初期，芯片制程開始極速爆發(fā)。個人電腦和互聯(lián)網(wǎng)將彌漫全球的前夜，因為沒有絲毫保密觀念，西方世界獲知了國內(nèi)的光刻機真實發(fā)展水平。

西方世界當(dāng)即放開了對國內(nèi)光刻機相關(guān)的所有封鎖，以質(zhì)優(yōu)價廉的光刻機系列產(chǎn)品迅速奪走了徐總工團隊的國內(nèi)市場。

國產(chǎn)光刻機從此一蹶不振。

直到多年以后國內(nèi)工業(yè)界遭遇漂亮國‘芯片法案’制裁時，才由一家叫做‘華威’的偉大公司領(lǐng)頭奮起還擊......

“鄭大哥，你對這一切都那么清楚，那這些書籍......”

陳國泰定了定神，指著基本專業(yè)書籍說道。

“我所在的研究所參與了第二代光刻機光學(xué)系統(tǒng)和大口徑物鏡的研究分工。這些書籍都是徐總工團隊編纂出來供研究人員學(xué)習(xí)的內(nèi)部教程。雖然不是保密書籍，但外邊也絕對看不到......只是讓我沒想到的是，小羽不但對數(shù)學(xué)極感興趣，居然對晦澀至極的光刻機知識也非常著迷......”鄭通元苦笑了一下說道。

然而鄭通元是在苦笑，陳國泰卻是在無比舒心地笑。

“超級數(shù)學(xué)天才，還對光刻機的制造異常著迷。這幾乎注定了是未來的頂級芯片和光刻機大佬！”

陳國泰忍不住又看了猶自和念念開心聊天的鄭白羽，猶如看到了一個無比偉大的科學(xué)新星正在冉冉升起。

“鄭大哥，你的具體研究我就不問了。不知道你能否說說對第二代光刻機進行分工研究的研究所都有哪些？我這純屬是好奇......”

陳國泰隨即滿臉堆笑地對鄭通元說道。

“這個問題......好像也不是不能講。我就告訴你吧.......”

鄭通元雖然感到有點奇怪，卻還是沒有拒絕陳國泰的要求。

陳國泰立即聽得更加專心，務(wù)必要把鄭通元所提到的所有人名地名都全部記住。

晚上七點鐘，在鄭家吃過晚飯，帶著依依不舍的念念走出筒子樓時，陳國泰臉上的笑容顯得異常燦爛。

光刻機，他摸到門了！

......